この図は参考に供するだけで、出荷規格の詳細は寸法図面を参照
The picture is just for the reference.Please check the actual dimensions on the drawing.
パラメータ設定
Parameter configuration
持続推力/Continuoustrust |
46N |
ピーク推力/Peakthrust |
151N |
持続電流/ContinuousCurrent |
3.0Arms |
ピーク電流/PeakCurrent |
12.0Arms |
ガイドレールVGuide |
THK(日本) |
フィードバック/Feedback |
解像度:0.1 um/0.5 um/1 umラスタ/マグネットオプション |
精度/Accessories |
磁気グリッド:繰り返し精度:+5 um、位置決め精度(補償後):+10 um |
ラスター:繰り返し精度:土2 um、位置決め精度(補償後):+3 um | |
直線度/Straightness |
土10 um/500 mm |
ストローク(mm)/ 負荷(kg) |
100 |
300 |
500 |
800 |
1000 |
1500 |
2000 |
4000 |
最大速度(m/s) | ||||||||
5 |
0.5 |
0.7 |
0.9 |
1.1 |
1.2 |
1.5 |
1.7 |
2.4 |
10 |
0.25 |
0.38 |
0.5 |
0.6 |
0.7 |
0.8 |
0.9 |
1.3 |
メモ:最大速度データは実際に両端にそれぞれ0.2秒滞在し、加速度10 m/s 3を前提としたテスト結果。
外形、取付寸法及び重量
Dimensions,installationg guide and weight of the stage
ストローク/March プロジェクト/Project |
120 |
180 |
240 |
300 |
360 |
420 |
480 |
540 |
600 |
660 |
穴の数(N) Numberofmountinghole |
1 |
1 |
1 |
1 |
3 |
3 |
3 |
3 |
5 |
5 |
全長 Overalllength |
380 |
440 |
500 |
560 |
620 |
680 |
740 |
800 |
860 |
920 |
標準モジュール重量(KG) Standardmodulevekht(KG) |
8.1 |
8.7 |
9.3 |
9.9 |
10.5; |
11.1 |
11.7 |
12.3 |
12.9 |
13.5 |
運動体重量(KG) Weightofmovingbody(KG) |
2.4 |
|||||||||
カスタムモジュール最大ストローク(mm) GustommoduleMaxstroke |
4200 |
|||||||||
ストローク/March プロジェクト/Project |
720 |
780 |
840 |
900 |
960 |
1020 |
1080 |
1140 |
1200 |
1260 |
穴の数(N) Numberofmountinghole |
5 |
7 |
7 |
7 |
7 |
9 |
9 |
9 |
9 |
|
全長 Overalllength |
980 |
1040 |
1100 |
1160 |
1220 |
1280 |
1340 |
1400 |
1460 |
1520 |
標準モジュール重量(KG) Standardmodulevekht(KG) |
14.1, |
14.7 |
15.3 |
15.9 |
16.5 |
17.1 |
17.7 |
18.3 |
18.9 |
19.5 |
運動体重量(KG) Weightofmovingbody(KG) |
2.4 |
|||||||||
カスタムモジュール最大ストローク(mm) GustommoduleMaxstroke |
4200 |
メモ:モジュール長はお客様の要件に合わせてカスタマイズできます